三坐标平台采用高强度铸铁HT200-300制造而成，经过两次人工处理使该产品精度稳定，耐研磨性能好。其工作面硬度为HB170-240，适用于各种三座标检验测量工作。三坐标平台相对来说精度比较高，平板铸件在机床精加工之后，还要经过人工刮研才能达到要求的精度。
三坐标平台的精度与平面度决定着测量的准确性。三坐标平台的精度可以用涂色法进行检检，用涂色法检验，0级1级平板平台在每边为25㎜平方的范围内不少于25点，2级平板平台在每边为25㎜平方的范围内不少于20点，3级平板平台在每边为25㎜平方的范围内不少于12点。三坐标平台平面度要在温度在20±2℃的情况下进行测量。
平面度计算公式（依JB/T7975-1999标准）
000级：1×（1+d/1000）μm；
0 0级：2×（1+d/1000）μm；
0级：4×（1+d/1000）μm；
1级：8×（1+d/1000）μm；
2级：16×（1+d/1000）μm；
3级：40×（1+d/1000）μm；（d为对角线mm）
三坐标平台表面附有三座标线，还可以当做机床机械检验测量的基准面。